天津大学微纳机电实验室加工开放平台以4英寸研发中试线为基础，该线通线10余年来拥有稳定的制造流程、成熟的运营管理、完整的加工平台以及世界领先的工艺水平。技术能力覆盖全套MEMS工艺，可进行各种MEMS产品的研发和小批量生产。

近1000平方米的洁净室以及百余台套高精尖设备，可以全面开展表面硅、体硅、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产；具有压电MEMS、电容MEMS、微传感器、微执行器、硅光、生物微流控等相关工艺和生产设备，能够实现多样化的MEMS产品从研发到量产的无缝衔接。