天津大学微纳机电实验室加工开放平台隶属天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，拥有高端的MEMS芯片研发制造能力，面向校内外提供科学研究和代工制造技术服务，助力我国科学技术的快速发展。加工开放平台实行独立运营，对外提供MEMS工艺开发、制造、封装和测试等全方位一站式解决方案，能够有效的帮助客户实现高品质研究开发与低成本批量制造，同时实现我校科研仪器装备的资源共享和高效利用。

天津大学微纳机电实验室加工开放平台由MEMS加工平台、封装平台和测试平台三部分组成，位于天津大学卫津路校区内。整个平台拥有百余台套先进的大中型设备，总价值达上亿元，且每台设备都配有相应的技术支撑人员进行操作和维护，这些设备现已全部对外开放提供服务，可以完成从MEMS芯片设计、工艺开发、原型验证、小量试产、批量制造的全套流程。

MEMS芯片在消费品、汽车、医疗和工业领域获得了广泛的应用。消费电子产品是MEMS芯片最大的市场，具体应用包括手机、游戏机、平板电脑、导航设备以及玩具等。汽车也是MEMS芯片的一大市场。大量传感器被运用汽车上，以提升其安全性、舒适度、便利性和能效，其中包括用于车辆碰撞检测、稳定性控制、行驶控制、导航系统、安全系统以及轮胎压力监控系统等的惯性传感器和压力传感器等。医疗和保健则是传感器类产品发展最快的市场，包括可穿戴计步器、活动监测器、跌倒检测、睡眠监测器和血压监测装置等等。工业应用对于MEMS芯片来说通常属于专业程度高但附加值也高的领域。越来越多的高可靠性、高精度传感器被用于工艺控制、提高平台稳定性和事故预警等场合。